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gravimètre ou gravitomètre
Cet appareil mesure la gravité ou pesanteur qu’exerce l’attraction terrestre sur une puce de silicium, permettant d’en déduire l’angle d’inclinaison de cette puce.
La plupart des accéléromètres à MEMS sont des gravimètres à l’échelle électronique : deux masses microscopiques sont reliées par un minuscule ressort dont on mesure l’effet sur les électrons, reproduisant dans l’infiniment petit ce que les savants du début du XXème siècle faisaient avec des appareils de près d’un mètre.